新增11台辐射设备应用建设项目(长鑫集电(北京)存储技术有限公司)

大型

建设内容：新增离子注入机、膜厚量测机、X光机 建设规模：主厂房C1B和C1C FAB三层新增离子注入机4台、膜厚量测机3台，主厂房C1B、C1C FAB一层和主厂房C1A、C1B PMD大厅新增X光机4台。具体为：1.名称：iStellar-2000型高能量离子注入机，型号：iStellar-2000，参数：电压1875 kV，电流1.8 mA，数量：1台；2.名称：CI P900HP型中电流离子注入机，型号：CI P900HP，参数：电压900 kV，电流3 mA，数量：1台；3.名称：VIISta Trident XP2型高电流离子注入机，型号：VIISta Trident XP2，参数：电压60 kV，电流25 mA，数量：1台；4.名称：SMIT MC3-Ⅱ/GP型中电流离子注入机，型号：SMIT MC3-Ⅱ/GP，参数：电压900 kV，电流4 mA，数量：1台；5.名称：AX-LE200膜厚量测机，型号：AX-LE200，参数：电压20-60 kV，电流150 mA，数量：2台；6.名称：AX-D100膜厚量测机，型号：AX-D100，参数：电压50 kV，电流1 mA，数量：1台；7.名称：AT6550D/安天下X光机，型号：AT6550D/安天下，参数：电压220 kV，电流50 mA，数量：3台；8.名称：AT700100D X光机，型号：AT700100D，参数：电压220 kV，电流50 mA，数量：1台