中韩集成电路装备及零部件制造项目(江阴慧芯科技发展有限公司)

大型

新增建筑面积约29000----米，同时利用现有厂房建筑面积38589----米进行装修改造，购置PECVD等离子沉积设备、ALD原子沉积设备等国产设备450套，拟引进Etch刻蚀、颗粒物数量检测设备等进口设备15台套，项目达产后将形成年产100台套薄膜沉积设备和2400件半导体刻蚀用硅部件的生产能力。