年产2400套刻蚀腔室氧化钇涂层及1006台套AMHS装备项目(山东东炀半导体科技有限公司)

大型

项目位于枣庄经济开发区境内，科创大道以东，中建材光芯科技有限公司以北，山东财富达智能制造有限公司以西，永安支流河道以南。总建筑面积41296.09----米,建筑总计容面积151538.47----米,其中1＃综合生产车间总建筑面积12358.89----米，2＃综合生产车间14468.60----米，3＃综合生产车间14468.60----米，园区配套工程道路及停车场硬化面积21206.93----米，绿地工程11025.98----米。容积率2.07,建筑密度56.49％，绿化率15％。项目建成后年产2400套刻蚀腔室氧化钇涂层及1006台套AMHS装备项目，产品主要为OLED及半导体头部企业的40台刻蚀装备进行长效服务及半导体制造生产过程中各类物料（如晶圆、光罩、玻璃基板、电子组件等）的自动化传输、存储与管理，从而提升生产效率，降低人为干预、保证产品质量与生产安全。