半导体芯片制造关键碳化硅陶瓷部件、刻蚀环技改研发及产业化升级项目(湖北芯火半导体科技有限公司)

对现有20亩生产车间进行技术改造，购置高性能智能化研发、生产、检测设备40余台(套)，主要生产用于半导体设备的sic陶瓷件、sic涂层件、实体SiC部件等核心结构件产品，匹配半导体行业高精密、高稳定性、规模化需求。项目完成后，预计年产关键SiC陶瓷部件5000 件，刻蚀件2000件。