硅基MicroLED全制程技术攻关和产线建设(武汉华星光电技术有限公司)

大型

通过新购高精度键合机、半导体曝光机、化学机械抛光机、CVD、PVD、检寸测等关键设备以及CIM系统建设形成一条晶圆级全制程，包含前道、外延到模组的硅基8寸或以上Micro LED产线，项目达产后形成硅基Micro LED器件12K片/年产能。