面向先进封装工艺的图形化晶圆几何形貌和应力量测设备技术研发及应用的建设项目(武汉颐光科技有限公司)

购置干涉仪、电子式内调焦望远镜等材料及设备5台套，建成先进封装工艺的图形化晶圆几何形貌和应力量测设备生产线，年生产约3台套，年产值约5000万元。