新一代半导体材料研究院离子注入机应用项目(IH-860PSIC)(山东大学)
项目地址： 
定位
定位 项目概况
更新时间： 2026-03-09（发布：2026-03-09）
项目阶段： 2026-03-09处于环评
建设周期： --
项目类型：教育及研究设施
面积：
投资金额： 1960万
建设性质： 新建
甲方类型： 政府部门、国企、事业单位
项目描述
一、建设内容：离子注入机（型号：IH-860PSIC）由ULVAC在我校使用处进行安装调试。二、建设规模：ULVAC生产的离子注入机（型号：IH-860PSIC）（可在10~365千伏范围内调整，最大管电流5 mA）。三、安置房间具体位置：济南市山大南路27号新一代半导体研发中心102。
项目工期及阶段
工程备注： 截止目前2026年3月9日，该项目处于立项阶段
项目动态 0
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