深紫外高精度镀膜与图案化核心元件技术及产业化能力建设项目(长春长光辰谱科技有限公司)

建设深紫外洁净车间，购置深紫外镀膜设备、图案化加工设备、精密检测设备及配套辅助设备十余套。