使用电子束直写设备装置项目(湖北新为光微电子有限公司)
项目地址： 
定位
定位 项目概况
更新时间： 2026-03-18（发布：2026-03-18）
项目阶段： 2026-03-18处于环评
建设周期： --
项目类型：工业
面积：
投资金额： 1800万
建设性质： 新建
甲方类型： 政府部门、国企、事业单位
项目描述
厂内使用M3550-2/UM型电子束直写设备（最大管电压100KV，最大管电流0.1mA数量1台）、射线装置具体使用位置：J1栋FAB 2楼
项目工期及阶段
工程备注： 截止目前2026年3月18日，该项目处于立项阶段
项目动态 0
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