年产200万片功率晶圆半导体生产自动化改造项目(江西芯光微电子有限公司)

拟在江西省抚州市南城县原有200万片功率器件产线基础上局部进行自动化升级改造，项目总投资预计2200万，全部用于新增自动化设备，淘汰原有的手动工艺及设备，在光刻和划片工艺上实现自动化运行，提高产品一致性水平，提升品质。主要新增的生产设备包括：MZW-BDMA2024V2型自动双面光刻机1台，MZW-AUEP2024V1（i7）型自动双面光刻机1台，DAD/DFD641型划片机20台，disco1440自动清洗机1台。完成后能有效提升200万片功率器件产线的产品品质。通过全自动光刻机的投入使用，提升200万片功率器件产线的产品品质。