40nm-28nm半导体掩模版生产线项目(珠海市龙图光罩科技有限公司) 大型
项目地址： 
定位
定位 项目概况
更新时间： 2026-03-24（发布：2026-03-24）
项目阶段： 2026-03-24处于立项审批
建设周期： 2027年1季度 - 2029年4季度
项目类型：工业
面积：
投资金额： 195436.81万
建设性质： 新建
甲方类型： 私营企业
项目描述
在原预留厂房（3栋）扩建掩模版生产线，不额外新增占地及建筑面积。扩建生产规模为年产掩模版1.5万片，本项目建成后全厂年产掩模版14万片。同时，扩建后现有项目蚀刻工序反应气体由四氟化碳替换为六氟化硫。
项目工期及阶段
工程备注： 截止目前2026年3月24日，该项目处于立项阶段，预计2027年1季度开工
项目动态 1
2026-03-24
更新项目概
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