年产5000台套半导体及高端装备用磁悬浮分子泵智能制造基地项目:
本项目聚焦于半导体及高端装备领域,核心建设内容为构建磁悬浮分子泵智能制造体系。首要建设内容为采用先进的分子泵机械加工及装配工艺,并据此购置关键生产设备,包括机械加工中心、车床、磨床、检测三坐标以及万级洁净间等。项目建成后,将形成年产5000台套半导体及高端装备用磁悬浮分子泵的生产能力。预计项目达产后,将新增产值18000万元,新增税收200万元。在项目实施过程中,将严格遵循安全生产及消防相关制度,并确保依法开展统计工作。
工艺流程方面,主要涵盖机械加工与装配两大环节。
工程备注: 截止(2026年4月16日),该项目处于立项阶段