中微公司华南总部及半导体、泛半导体设备研发生产基地一期(又名华南总部研发及生产基地)(中微半导体设备(广州)有限公司)

大型

该项目占地面积----，规划总建筑面积----，容积率3.0。主要建设内容包括：以新建1栋地上4层、地下1层的综合性厂房为核心，配套建设1层仓库、1层食堂及门卫室等附属设施。其中，综合性厂房涵盖生产区、研发区、仓库区及动力区等功能分区。项目建成后将用于gen8.5代平板显示PECVD工艺设备（含PECVD产品、刻蚀产品）的研发制造，设计年产能为1215台整机设备。