广州光电存算芯片中试平台洁净室及工艺研发测试设施建设项目(广东省广州市)

大型

建设中试平台，主要建设内容包括：搭建洁净室，建设厂房及平台附属设施；配置工艺研发与测试设备共计100台；建成后具备每月1000片的芯片研发中试能力，重点开展光电子和微电子芯片的晶圆级制造工艺及封装测试技术的研发工作。