先进量子计算芯片研产贯通能力提升项目(南京南智先进光电集成技术研究院有限公司)

大型

利用租赁的----标准厂房，依托薄膜铌酸锂材料在光量子器件领域的技术能力，按主次顺序开展以下建设内容：首先购置步进式光刻机、紫外光刻机等微纳加工设备，以及介质镀膜机、电化学沉积系统、原子层沉积系统等检测表征相关设备；其次配套建设公辅工程，构建先进量子计算芯片综合技术平台。该平台主要用于开展光量子芯片技术研发及代工研发服务，项目不涉及中试及大规模批量化生产环节，且研发样品不用于外售。项目总投资12000万元，其中环保投资960万元。