先进量子计算芯片研产贯通能力提升项目(南京南智先进光电集成技术研究院有限公司)

大型

租赁建筑面积7700----米的标准厂房，依托薄膜铌酸锂材料在光量子器件领域的技术能力，按主次顺序依次购置步进式光刻机、紫外光刻机、介质镀膜机、电化学沉积系统、原子层沉积系统等微纳加工与检测表征相关设备，并配套建设公用辅助工程，构建先进量子计算芯片综合技术平台，开展光量子芯片技术研发及代工研发服务。本项目不涉及中试及大规模批量化生产环节，所制样品不用于外售。项目总投资12000万元，其中环保投资960万元。