MEMS扬声器三大系列产品研发及关键技术产业化项目(广东省东莞市)

本项目聚焦于MEMS扬声器的研发及产业化进程。通过租赁现有厂房，构建研发实验室与中试生产线，总建筑面积达600----米。项目核心建设内容按主次顺序如下：首要开展三大系列产品的研发工作，涵盖无永磁体电磁式MEMS扬声器（高频）、有永磁体电磁式MEMS扬声器（低频）以及高低频分治集成式MEMS扬声器（复合）；其次，开发关键技术，包括多层独立并联线圈结构、铁磁性纳米复合材料电镀工艺以及高低频分治集成设计；同时，购置关键工艺设备及测试仪器，如光刻机、电镀设备、PECVD刻蚀机、音频分析仪等。项目达成后，将形成年产200万颗MEMS扬声器芯片的生产能力。