广钢气体粤芯四期集成电路配套大宗气体供应项目(广钢气体电子材料(广州)有限公司)

大型

本项目实施总投资预计 19,696.85 万元。建设规模：一套17500Nm³/h制氮机组系统；氮气、氧气、氩气、氦气、氢气、二氧化碳后备供应系统；压缩空气供应系统以及公辅系统。氮气、氧气、氩气、氦气、氢气、二氧化碳原料产品及部分压缩空气经过纯化后输出超高纯同类气体产品。17500型制氮机组系统生产高纯度气氮空气分离设备，采用深度冷冻及低温精馏的方法，把原料空气分离成氮气和液氧。本项目建筑面积为0----米，设备基础占地面积约580----米。