半导体设备用高纯氧化铝静电卡盘开发及产业化项目(广东省潮州市)

大型

本项目利用原有厂房进行建设，购置先进的生产及检测设备，突破半导体级精密陶瓷部件及其材料的制造技术，项目完成后实现高纯氧化铝静电卡盘及其粉体的国产化替代，最终建成年产500片高纯氧化铝静电卡盘的生产线。