光刻材料研发中试及规模化生产基地建设项目(默克电子材料(苏州)有限公司)

大型

新建光刻材料研发（试验）生产基地，主要建设内容为构建具备光刻材料研发、中试及规模化生产能力的综合基地，实现年产光刻材料XX吨（原文未提供具体产量数值，按要求保留整数位表述框架）。项目以光刻材料制备工艺优化为核心，配套建设洁净车间、分析检测中心及环保处理系统，形成完整的研发-中试-生产转化链条。