半导体微纳加工中试验证基地项目(广东省佛山市)

大型

本项目主要从事化合物半导体及硅基MEMS传感领域的微纳加工中试公共服务，面向器件主要包括氮化镓功率器件、氮化镓光电子器件、环境传感器、力学传感器、光学传感器与执行器件等。本项目为技术改造，在原有制造基础上增置核心服务设备，提升工艺多样化服务能力。厂房1栋，建筑面积2.4万----米，本项目占用厂房面积约5000----米，设有千级生产净化车间、化学品仓。拟购置设备包括：步进式光刻机、涂胶显影机、SACVD、溅射台（PZT）、光学镀膜机、RIBE、超声检测仪、光学显微镜、分光光度计、FIB、AFM等。