半导体先进工艺制程实验室项目(湖北省武汉市)

购置高分辨透射电子显微镜、等离子体聚焦离子束系统、冷场发射扫描电镜和纳米探针测试系统等关键检测设备约12台（套），建成先进工艺制程检测和SEMI认证集中式平台，实现以 ISO9001、CNAS 为核心的检测服务质量保证体系，提供先进制程检测、SEMI认证和良率提升检测EFA&PFA服务。