MPCVD装备生产线项目(山西省晋城市)

建筑面积1000----米,年产MPCVD设备100台。建设MPCVD生产线1条,搭建MPCVD装备研发生产配套设施,购置主要研发设备为10台腔体、10台套零部件,1套PLC系统。