年产80吨重掺砷晶圆棒项目(内蒙古乌兰察布市)

大型

在现有32台单晶炉中拿出10台实施重掺砷产品技改，改造2台1600型单晶炉拉制12寸重掺砷；改造4台1200型单晶炉拉制8寸重掺砷；改造4台950型单晶炉拉制6寸重掺砷，生产中投加砷元素，产出年产80吨重掺砷晶圆棒产品。