福建省泉州市年产210吨先进半导体薄膜沉积前驱体项目(福建纯铭新材料科技有限公司)

大型

项目占地面积68660----米，主要建筑面积50654----米。本项目聚焦于建设先进半导体薄膜沉积前驱体生产线，设计年产能达210吨。建设内容按主次顺序包括：新增CO前驱体、TA前驱体、SN前驱体、RU前驱体、MO前驱体、W前驱体、SI前驱体、LOW-K前驱体及AL前驱体等产品的生产能力，总计新增年产能210吨。