上海张江研发中心及生产基地项目(上海)

大型

打造面积超----的研发与产业化基地，主要建设内容按主次顺序依次为：聚焦集成电路前道制造领域、先进封装领域、化合物半导体领域、大硅片领域及制程设备领域，以此提升国产半导体质量控制设备的研发及产业化能力。