富芯12英寸模拟芯片及功率器件国产干式光刻机验证与量产项目(浙江省杭州市)

大型

本项目依托富芯公司在模拟芯片工艺技术领域的深厚制造经验积累，并融合前期工业及车规级工艺平台的量产实践经验，总投资额为13400万元。项目利用杭州富芯半导体有限公司现有厂房及生产线，开展国产光刻机的验证工作。验证流程涵盖装机与可靠性测试、工艺匹配与小批量试产、大批量压力测试与长期观察，以及良率与可靠性的最终认定等关键环节。项目主要建设内容为：生产12英寸模拟芯片及功率器件产品，确保满足器件需求并实现量产。同时，采购国产干式i-line光刻机1台及KrF光刻机1台，以满足验证指标要求，加速推进国产干式光刻机的推广应用。