射频异质集成滤波器生产一期项目(安徽省蚌埠市)

大型

项目租赁现有1#厂房，建筑面积----。主要建设内容为新建1条晶圆生产线，按主次顺序依次购置以下生产设备及辅助设施：化学气相沉积机、溅射台、干法刻蚀机、干法去胶机、湿法刻蚀机、湿法清洗槽、湿法去胶机、涂胶显影机、曝光机、烘箱等。项目建成后，将形成年产12000片晶圆的生产规模。