新型显示用紫外清洗灯研发及产业化项目(广东省广州市)

大型

利用现有厂房，联合攻关，通过购买Mask Case通用型，指标1100*1300mm、液晶面板机械手臂A型，指标精度±0.05mm、液晶面板移载机SS型，指标定位精度±0.1mm、氧化物高温退火炉通用型，指标工艺温度300-600℃可调设备调整现有产线生产紫外清洗灯，并完成产业化应用。项目聚焦紫外清洗灯的研发及应用，开展金属网格电极及气体成分、内部涂层等EUV灯关键技术攻关，提升紫外清洗灯的透光率及材料抗老化性能，开发完成EUV清洗准分子灯产品，不涉及产值变化。此项利用原有厂房不涉及新增，占地350000----米、建筑面积1350000----米。