高性能碳化硅刻蚀AR全彩衍射光波导攻关项目(山西烁科晶体有限公司)

大型

利用山西烁科晶体有限公司中国电科（山西）碳化硅材料产业基地B02、B04厂房，购置碳化硅单晶生长炉、切割机、抛光机等设备，研究光学规格要求的碳化硅晶圆及波导片。项目完成后实现为下游用户提供满足光学规格要求的超低厚度变化的碳化硅晶圆及波导片的能力，满足高性能波导的设计需求。