高性能碳化硅刻蚀AR全彩衍射光波导攻关项目(山西烁科晶体有限公司)

大型优质

建设规模及内容：依托山西烁科晶体有限公司中国电科（山西）碳化硅材料产业基地的B02、B04厂房，购置碳化硅单晶生长炉、切割机、抛光机等核心设备，开展满足光学规格要求的碳化硅晶圆及波导片研发工作。项目建成后，将具备向下游用户稳定供应超低厚度变化碳化硅晶圆及波导片的能力，可满足高性能波导设计的技术需求。