力华特新材料会昌半导体ALD前驱体项目(江西省赣州市)

大型

建设综合生产车间一、综合生产车间二、综合生产车间三、甲类危化品仓库及原料暂存间、成品仓库及充装包装间、公用工程站房、溶剂回收及三废预处理站、质检研发楼、综合办公及中控楼、消防泵房及门卫等主要建（构）筑物，总建筑面积约21000m²。购置搪玻璃/不锈钢/哈氏合金反应釜、无水无氧计量滴加及惰性气体保护系统、常压/减压精馏塔、升华纯化及真空干燥装置、冷阱及真空泵组、密闭过滤器和离心/压滤设备、高纯产品充装包装系统、原料及溶剂储罐、公用工程设备、DCS/SIS 自动控制及联锁系统、尾气吸收和废水预处理设备，以及 GC、ICP、水氧分析等检测仪器，关键设备合计约160台（套）。主要工艺技术：合成反应、氯化反应、胺基化反应、配位反应、取代反应、络合反应等。项目竣工投产后，可形成年产三（二甲氨基）环戊二烯基锆10吨、三（二甲氨基）环戊二烯基铪20吨、四(二甲氨基)锆15吨、四(二甲氨基)铪30吨、三（甲基环戊二烯）钇1.5吨、三(N,N'-二异丙基甲脒基)镧1.5吨、三(二甲氨基)环戊二烯基铈0.2吨、三(异丙基环戊二烯基)铈0.2吨、四(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)铈0.2吨、三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)钪0.2吨、三(环戊二烯基)钪0.2吨、二甲基二甲氧基硅烷400吨、1-异丙基-4-甲基-1,3-环己二烯20吨、二碘硅烷10吨、六氯乙硅烷5吨、二异丙氨基硅烷5吨、双(二乙氨基)二氢硅烷5吨、二氯二氧化钼50吨、四(二甲氨基)钛5吨、双(乙基环戊二烯基)钌0.2吨、（3,3-二甲基-1-丁炔）六羰基二钴1吨、四 (二甲氨基) 锡0.5吨的生产能力。