年产50万片磷化铟衬底项目(江西芯铟达半导体有限公司)

大型

该项目总占地面积为21亩，总建筑面积为17000----米。该项目为租赁厂房。购置主要设备为磷化铟多晶合成炉、磷化铟单晶炉、磷化铟真空焊管机、洁净清洗机、内圆锯、多线切割机、全自动晶圆倒角机、研磨机、上蜡机、下蜡机、粗精抛机、全自动单片清洗机、全自动包半装机。生产工艺流程：购置原材料（高纯度磷、高纯度铟）进行磷化铟多晶合成→单晶生长→晶棒加工→晶棒测试→多线切割→晶圆倒角→清洗→上蜡→粗抛→精抛→下蜡→洁净清洗→包装。该项目产品为2至6英寸磷化铟衬底，主要用于电子信息行业。该项目建成后年耗电2500万度，年综合能耗折合 3072.5吨标准煤。