干式真空泵等精密超精密装备制造中试平台建设(四川省绵阳市)

大型

1. 本项目依托现有----厂房，新建精密超精密机械加工中试平台。该平台主要提供设施配套服务、成果转化落地及中试生产等专业化公共技术服务。建设内容按主次顺序包括：聚焦于半导体及泛半导体领域高端干式真空泵等精密超精密装备的整机与核心零部件的成果转化及中试生产验证；提供整机型式试验与中试验证服务；开展干泵核心零部件研制与中试；实施大科学装置超精密零部件加工中试。 2. 项目投资：22225万元。