离子注入机应用项目(宁波晶钻科技股份有限公司)

一、建设内容：宁波晶钻科技股份有限公司离子注入机应用项目。二、建设规模：1台IH-860PSIC型离子注入机，最大加速电压400keV，最大束流1.5mA，放置在高能粒子实验室内。