年产800台(套)晶圆精密机械手臂项目:
1. 本项目聚焦于8/12英寸及碳化硅晶圆的精密搬运核心技术,采购关键生产设备,包括8台五轴联动高精密加工中心、6台马扎克精密数控车床、5台高精度平面磨床、4台高精度丝线切割机以及10台真空热处理炉,并配置多套检测设备,以构建年产800台(套)半导体晶圆精密机械手臂的生产能力。项目达产后,预计实现年产值12000万元,年总税收1705万元。
2. 工艺流程:依次为划片装片(固晶)、焊线(键合)、包封、测试。
工程备注: 截止(2026年7月09日),该项目处于立项阶段