年产600万片高端化合物半导体衬底项目(浙江省衢州市)

大型

依托企业现有厂区实施升级扩建，引进全自动晶体生长炉、精密双面抛光设备、高分辨率缺陷检测系统等核心产线装备，实现4-6英寸高端砷化镓、磷化铟单晶衬底量产，达产后年产砷化镓衬底300万片、磷化铟衬底300万片，合计年产600万片高端化合物半导体衬底。