砷化镓半导体晶圆生产线扩建项目(三期)(珠海华芯微电子有限公司)

大型优质

项目计划对六英寸化合物半导体晶圆生产线进行扩建，以实现月产8000片的生产规模。主要建设内容包括：依托现有厂房，购置光刻机、刻蚀机、涂胶显影机、化学气相沉积设备、离子注入机及检测设备等六英寸射频晶圆制造核心设备。项目建成后，HBT、PHEMT等化合物半导体晶圆产品的月产能将从原有的2000片提升至8000片，新增月产能6000片。项目达产后，将显著增强公司在高端射频器件领域的供应能力，满足5G/6G通信、物联网、低轨卫星等新兴市场的需求，并推动产业链上下游的协同发展。