年产1万件高端碳化硅涂层部件生产线升级改造项目(湖北省武汉市)

大型

本项目聚焦于碳化硅涂层核心工艺，主要建设内容如下：于厂房内开展设备安装工作，引进CVD沉积设备等关键装备；同步对现有CNC加工车间、蚀刻车间、清洗车间、包装车间进行升级改造；配套升级高纯气体站、废气处理设施及变配电设施等附属设施。