东莞理工学院集成电路学院高频高速电路工艺与测试平台配套超净间建设(广东省东莞市)

本项目建筑面积为950----米，总投资3580万元，在在东莞理工科技创新研究院D2栋一层2-1轴~2-3轴/2-A轴~2-F轴区域建设东莞理工学院集成电路学院高频高速电路工艺与测试平台配套超净间，主要设备：磁控溅射台、双面曝光机、划片机、裂片机 等。配套建设必要的建筑结构和公用动力设施，主要包括：洁净装修、洁净空调、排风、工艺循环冷却水、给排水、压缩空气、工艺真空、大宗气体、特气、配电、照明、弱电、安防、消防等。