III-V族微纳加工平台激光器芯片产业化能力建设项目(湖北省武汉市)

在现有基础上，新增购MOCVD设备、镀膜机、ICP刻蚀设备、固化炉、老化炉、温循设备、ESD设备等设备共计10台国产设备，研发激光器芯片生产，产能将达到年产3700片2英寸外延片，实现激光器系列芯片年量产3000片、年产值4亿元。