基迈克半导体零部件生产制造基地项目(浙江省杭州市)

大型

建设半导体核心零部件研发生产载体，聚焦半导体前道制程中高精度真空腔体、静电卡盘、射频匹配器、特种陶瓷结构件等核心零部件的研发与规模化生产，产品适配28nm至14nm制程的刻蚀、薄膜沉积及清洗设备，达产后年产1500套高端半导体零部件。