半导体设备生产及研发项目(卓程微半导体设备(昆山)有限公司)

大型

主要从事晶圆单片式清洗机、全自动槽式清洗机、尾气处理设备等产品的生产、研发，相关产品广泛应用于半导体前道制程、先进封装、MEMS、平板显示等领域，项目建成投产后将推动半导体设备国产替代。