玻纳刻平板光刻机研制基地项目(上海)

大型

利用上海市浦东新区曹路镇曹路工业园区02-05地块空地新建1栋整机厂房、1栋洁净厂房、1栋仓库、1栋综合楼、1栋甲类仓库以及门卫室、地下室等配套设施，总占地面积20016m2；项目建成后主要从事曝光机（平板显示光刻机等）、长短寸检测设备及物镜的生产及研发。