华芯程先进晶圆制造EDA工具研发与应用项目(浙江省杭州市)

大型

开展先进晶圆制造EDA工具相关研发与应用，重点攻关光刻成像仿真系统、掩膜版图生成工具、工艺窗口优化平台及自动SRAF曝光显像抑制技术等产品研发，面向国内采购相关设备，突破芯片制造领域相关核心工艺难题。