集成电路制造装备高性能工艺电源研发和产业化基地(湖北省武汉市)

租赁厂房，购置等离子腔体电源测试平台、射频电源测试平台、工业真空器件测试平台等设备，建设半导体制造设备工艺电源研发实验室和产线、工业真空器件研发实验室和产线,设计产能工艺电源3000件/年、工业真空器件1000件/年。