上海铭璞科技有限公司与北京**精科科技股份有限公司买卖合同纠纷一审民事判决书

北京市大兴区人民法院

民 事 判 决 书

（2021）京0115民初5763号

原告：上海铭璞科技有限公司，住所地中国（上海）自由贸易试验区马吉路2号1101室。

法定代表人：韩婧，执行董事。

委托诉讼代理人：马翔，上海申同律师事务所律师。

被告：北京**精科科技股份有限公司，住所地北京市北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）。

法定代表人：孙国华，董事。

委托诉讼代理人：张豹，男，北京**精科科技股份有限公司员工。

委托诉讼代理人：张雷，北京市邦盛律师事务所律师。

原告上海铭璞科技有限公司（以下简称：上海铭璞公司）与被告北京**精科科技股份有限公司（以下简称：**精科公司）买卖合同纠纷一案，本院于2021年3月2日立案后，依法适用普通程序，公开开庭进行了审理。上海铭璞公司的委托诉讼代理人马翔，**精科公司的委托诉讼代理人张豹、张雷均到庭参加诉讼。本案现已审理终结。

上海铭璞公司向本院提出诉讼请求，请求判令：1.**精科公司支付拖欠的设备款人民币597618元；2.**精科公司支付拖欠款的利息6634.06元（按照付款周期分段计算，以LPR年利率3.85%计算，暂计算至2020年12月21日，实际要求计算至**精科公司履行之日）；3、**精科公司承担本案的诉讼费。庭审中，上海铭璞公司明确第二项诉讼请求为总设备款的15%即358570.8元，自2020年7月1日（按照补充协议约定，因现场条件受限，无法完成验收，自2020年6月30日视为验收合格）开始计算到实际支付之日，按照年利率3.85%（按照2020年12月份同期LPR）计算；总设备款的5%即119523.6元，自2020年12月31日（按照补充协议第6点2020年6月30日验收合格后，6个月支付总设备款的5%）开始计算到实际支付之日，按照年利率3.85%（按照2020年12月份同期LPR）计算；质保金是总设备款的5%即119523.6元，按照补充协议是2021年6月30日到期，因为目前还没有到期，所以没有算这笔的利息。事实和理由：上海铭璞公司与**精科公司于2018年10月24日签订合同编号：KB18-2232采购合同，约定上海铭璞公司向**精科公司交付两台离子激活设备，合同总价共计2555712.00元人民币，付款方式为分期付款。上海铭璞公司已按合同约定交付了设备，并已通过双方测试及验收。上海铭璞公司与**精科公司另于2020年6月11日签订《等离子激活设备采购合同补充协议》，变更为总额2489616.00元，差额部分从后续付款中按比例扣除。现**精科公司已向上海铭璞公司支付75%合同价款合计1891998元，剩余25%价款合计597618元至今尚未支付，**精科公司已严重违反合同约定，并造成上海铭璞公司严重损失。且上海铭璞公司多次与**精科公司沟通无果。双方约定管辖法院为甲方所在地法院，即**精科公司所在地人民法院，为维护上海铭璞公司的合法权益，现根据民事诉讼法及有关法律规定，特提起诉讼，望依法判决。

**精科公司辩称，根据原被告双方2020年6月11日签署的《等离子激活设备采购合同补充协议》，上海铭璞公司交付的2套等离子激活设备应在上海集成电路研发中心有限公司（即ICRD）完成最后4.4-4.7项测试验收项目。其中通过4.4-4.6项测试验收项目后，**精科公司向上海铭璞公司支付15%货款，即358570.8元；在通过4.7项测试验收项目后，**精科公司向上海铭璞公司支付5%货款，即119523.6元；在质保期1年届满后，**精科公司向上海铭璞公司支付最后5%货款，即119523.6元。上述25%货款合计597618元。《等离子激活设备采购合同补充协议》同时约定，如因上海铭璞公司供方原因或等离子设备本身问题以及其他不可抗拒外力未能在2020年6月30日完成4.4-4.6项验收，则上海铭璞公司应继续配合完成4.4-4.6项验收。上述验收完成后，**精科公司才具有支付剩余货款的义务。2020年7月6日，经上海集成电路研发中心有限公司测试，案涉两套等离子激活设备由于金属沾污严重，无法通过金属元素沾污测试，故不具备最终验收测试条件。因为上海铭璞公司交付的等离子激活设备本身存在问题导致无法完成验收测试，事后**精科公司要求上海铭璞公司配合继续完成设备的调试及改进，上海铭璞公司因种种原因拒绝配合，并将设备进行锁定，导致设备问题迟迟无法解决。故此，根据协议约定，**精科公司无需支付剩余货款及利息，上海铭璞公司应继续履行合同义务，配合继续完成验收工作。并不是上海铭璞公司所说的因为条件受限无法验收，而是因为设备自身金属物超标原因无法验收，这种情况下应该是上海铭璞公司继续配合调试设备完成验收，而不是视为验收合格。综上所述，**精科公司认为上海铭璞公司所提诉讼请求事项没有事实及合同依据，故恳请依法予以驳回。

当事人围绕诉讼请求依法提交了证据，本院依法进行了举证和质证。对当事人无异议的证据，本院予以确认并在卷佐证。

根据当事人陈述和经审查确认的证据，本院认定事实如下：

2018年10月24日，购货方（甲方）**精科公司与供货方（乙方）上海铭璞公司签订KB18-2232号《采购合同》，约定购买标的为等离子激活设备2台，总价为2555712元，货期为收到首次预付款后22周。本协议生效之日起5个工作日内，甲方支付乙方766713.6元，发货前支付766713.6元，甲方收到乙方货物且验收合格后一个月内支付766713.6元，验收合格后6个月内支付127785.6元，验收合格后12个月支付127785.6元。质保期为验收之日起12个月。在设备或整个系统投入运行及在测试、运行和调试验收中都能满足合同规定的技术指标后，甲方将签署验收合格证书，但甲方无正当理由最迟不得迟于货物抵达现场后1个月后签发。乙方应在收到甲方发出验收之日起2天内到现场协助到货验收和运行验收，如乙方未按时参加验收，视为同意甲方的验收结果。双方加盖公章的补充协议与本合同具有同等的法律效力。

同日，**精科公司与上海铭璞公司以及仪器生产及技术服务方Diener三方签订《等离子激活设备测试及验收》，载明合同号为KB18-2232，约定设备验收分为两步，第一步为初步验收，按照测试项4.6及之前所有之规定测试通过，视为设备初步验收通过，测试地点为**精科公司；第二步为终验收，按照《等离子激活设备测试与验收》测试项4.7之规定测试通过后，视为终验收通过，测试地点为FAB厂。如果不能在FAB生产线测试，验收测试并不能充分考核可靠性指标，针对该情况**精科公司将从商务方面考虑，在付款方式及付款比例上给予一定约束。其中第四项为性能测试，4.4为表面粗擦度，测试条件为等离子功率≤120W，激活时间15-20s，分别测试5片SiO2晶圆和Si3N4晶圆，共10张晶圆，每张晶圆用AFM至少测试13区域，测试区域2*2μm2；4.5为表面损失，测试条件为等离子功率低频25W，激活时间10s，测试5片SiO2晶圆，每张晶圆用KTFX200膜厚仪测试49点；4.6为初步可靠性测试，测试条件为等离子功率＜25W，激活时间15-20s，完整工艺流程，连续运行50次；4.7为可靠性测试，测试条件为在FAB生产线上运行至少6个月，在FAB系统提供测试数据。以上所有测试项，除4.7项在FAB厂测试之外，其余均在Diener或**精科进行测试，测试物均为**精科所提供的测试晶圆为准。2020年1月10日，测试结果处写明性能测试4.4-4.7项由于场地条件未能在**工场进行测试，将在ICRD上海工厂进行测试。

同日，**精科公司与上海铭璞公司以及仪器生产及技术服务方Diener三方签订《等离子激活设备技术协议》，约定了涉案等离子激活设备的主要配置和技术资料，并约定了验收条款。其中第六项验货、安装调试与验收6.4条约定，设备验收分为两步，第一步为初步验收，按照《等离子激活设备测试与验收》测试项4.6及之前所有之规定测试通过，且双方在现场培训确认表签字确认后，视为设备初步验收通过，地点为**精科公司；第二步为终验收，按照《等离子激活设备测试与验收》测试项4.7之规定测试通过后，视为终验收通过，测试地点为FAB厂。

后，**精科公司于2018年11月11日支付766713.6元，2019年11月26日支付766713.6元，2020年6月10日支付358570.8元，合计支付1891998元。

2020年6月11日，购货方（甲方）**精科公司与供货方（乙方）上海铭璞公司签订KB18-2232号《等离子激活设备采购合同补充协议》，达成合同内容补充：由于增值税税率变更，原KB18-2232的等离子激活设备采购合同总额2555712元（含16%增值税）变更为总额2489616元（含13%增值税），差额部分从后续付款中等比例扣除，**精科公司先支付15%的货款358570.8元，上海铭璞公司保证收到**精科公司15%货款后5个工作日内安排人员至上海ICRD配合**精科公司完成4.4-4.6验收项。6月30日之前完成4.4-4.6所需工艺测试，以及测试结果满足要求，可视为验收完成，如果因为现场条件受限，无法完成验收，则从6月30日开始视为验收合格，上海铭璞公司需继续配合**精科公司完成4.4-4.6项的验收，同时上海铭璞公司向**精科公司开具设备合同金额90%的发票，共计2250568.8（含13%增值税），**精科公司收到发票后5个工作日内支付剩余15%的验收款，共计358570.8元；如因上海铭璞公司供方原因或者等离子设备本身问题，及其他不可抗拒外力，未能在2020年6月30日前完成4.4-4.6项的验收，则上海铭璞公司需继续配合**精科公司完成4.4-4.6项的验收。完成4.4-4.6项验收后，同时上海铭璞公司向**精科公司开具设备合同金额90%的发票，共计2250568.8（含13%增值税），**精科公司收到发票及（4.4-4.6项）验收报告后5个工作日内支付剩余15%的验收款，共计358570.8元。4.7项的验收项时间取决于4.4-4.6项的完成时间，按照合同约定，4.6项完成后，开始计算时间，如因**精科公司原因再次无法完成4.4-4.6项验收，可视为2020年6月30日为4.7项开始时间，如因等离子设备及上海铭璞公司原因未完成验收，则按照合同从4.4-4.6项完成时间后开始计时。4.7项为4.6项完成验收后6个月。4.7项完成后，上海铭璞公司向**精科公司开具合同总额5%的发票，**精科公司收到发票后。5个工作日支付相应5%的货款，共计119523.6元。设备尾款支付时间取决于4.6项完成后的一年时间即质保期满，**精科公司在质保期满后，上海铭璞公司向**精科公司开具合同总额5%的发票。**精科公司收到发票后，5个工作日内支付最后5%设备尾款，共计119523.6元。

上海铭璞公司提交2020年5月13日上海铭璞公司张鹏斌发送给**精科公司经理邮件，“邮件所述的技术支持没有问题，根据合同约定，我们已于已于2020.1.10完成初验。贵司应于2020年2月9日支付合同总额的30%，在此期间多次电话和邮件联系贵司确认支付时间，到今天为止也没有收到相应的货款。”

2020年5月18日9:43**精科公司凌经理向上海铭璞公司的李志鹏、张鹏斌和备产商的杨天翼发送邮件，“上述8.4项，请注意我司不是无正当理由，设备里面有些验收项需要到客户现场进行调试，这个技术和供方应该都清楚。我们建议现在的首要工作尽快协助我司完成整体设备验收，按照技术协议，如验收通过，签署整机验收报告。”

2020年5月18日17:30上海铭璞公司李志鹏回复**精科公司凌经理及设备生产商，“4.4-4.6项按合同应在**验收，由于贵司没有相应的测试设备，经商讨移至客户处测试，技术协议约定仅4.7项在客户处验收。4.7项‘FAB生产线上运行至少6个月’，该验收为最终验收，到该时间段点贵司应支付接下来的5%的货款，4.7项不能视为这次验收的内容。按照贵司的ICRD验收日日程安排，仍然需要两个2个月以上的时间，如果按照贵司的时间节点要求，整个验收时间超过6个月，远远超过合同约定的验收时间要求。1、5月15日上电，开始进行通讯测试；2、6月22日协同软件开始进行Plasma单元各项功能测试，计划5月27日完成；3、7月初由ICRD对Plasma单元进行综合测试，完成硬件功能的检测；4、7月底对Plasma进行工艺测试。”

2020年6月28日，**精科公司刘明瑞向上海铭璞公司的张鹏斌发送邮件“张经理，目前现场的状况如何？4.4-4.6项的验收进行到哪个步骤了？”上海铭璞公司张鹏斌向**精科公司刘明瑞回复“刘经理，到目前为止还没有进行4.4-4.6项的工作，我们工程师进场到目前为止都在解决设备的故障问题。设备的报警信息德国那边判断是信号传输问题。具体我们在和德国、贵公司的工程师一起讨论推进协助解决。”**精科公司刘明瑞回复“张经理，这段时间，贵司的工程师是否会一直在现场与我们工程师一起解决问题？”上海铭璞公司张鹏斌回复“刘经理，我们工程师已经连续一周在现场陪同贵公司一起查找解决问题（有的时候我们有两名技术在现场），我们没有去现场的工程师也在和德国沟通讨论解决问题。接下来我们公司也会全力配合你们查找和解决问题。正常按照杨经理在贵公司验收完成4.3之前的项目，我们进场只要做4.4-4.6验收就可以的话，预计两到三天可以完成。之前的技术协议我们需要配合，我公司下周开票给贵公司，贵公司需要在2020年6月30日支付15%的款项。”**精科公司刘明瑞回复“张经理，我建议咱们双方要先查明设备或者信号传输具体发生了什么问题才导致的报警，有没有具体的解决方式？”2020年6月29日，上海铭璞公司李志鹏向上海铭璞公司的张鹏斌、**精科公司刘明瑞发送邮件“今天在现场已经把设备问题解决了，自动运行也经过测试，麻烦安排4.4-4.6项的验收工作。”**精科公司张豹回复“好的，我们明天和客户沟通，开始进行测试。”上海铭璞公司称，后续经核实上述问题是等离子设备在运抵ICRD后是因为**精科公司自行剪短了设备的连接电缆并且自行在ICRD进行延长操作时造成的，上海铭璞公司在收到反馈后一直在与**精科公司积极沟通，解决问题，设备2020年1月在**精科公司测试时是一切正常的。

2020年7月6日，**精科公司张豹向上海铭璞公司的李志鹏、**精科公司刘明瑞发送邮件“李经理，今天客户金属离子测试结果出来了。金属离子严重超标，导致无法在客户端进行膜厚和粗糙度测试。4.4-4.5在金属离子解决之前，无法进行测试。”

2020年7月7日10:54北京**公司的司伟向设备生产商Diener杨天翼邮件，载明“我方现场人员在2020年7月2日至3日在铭璞的帮助下，对等离子单元进行了初步测试，由于ICRD方面要求在进行粗糙度和表面损失测试前必须经过金属粒子的测试，所以先进行了金属粒子和初步可靠性（4.6项）的测试。初步可靠性（每个单元50个流程）已经测试完成，期间没有发生设备故障、报警停止等信息，所以可以认为该项测试通过。金属粒子测试由于ICRD的TXRF设备出现问题，所以拖至昨日下午才出第一片结果，今天上午所由测试片全部测试完毕，根据测试结果，发现金属粒子严重超标，主要超标金属由Al、Ca、Cr、Fe、Ni，其中Al超标严重，超过测试值20多倍，经过分析认为可能有以下两个因素：1.Al超标严重应当与腔室内材料为铝合金有关，关键点在于腔室内壁的涂层，同时也可能和腔室内的零件材料及表面处理方式有关。2.Cr、Fe、Ni这三种金属都和不锈钢有关，估计主要原因在于工艺气体管路和元件的材料有关。因此我们请Diener和上海铭璞公司方面提供一下信息：1.腔室内壁和腔室内元件的材料及表面处理方式；2.工艺气体管路所使用的材料及表面处理方式，以及工艺气体管路元件的品牌和型号。我们会根据你们提供的材料对此次金属离子超标的现象进行分析，进口确认产生的原因并拿出处理方案。如果处理过程中需要得到Diener或上海铭璞公司方面的协助或增加投入的话，我们双方可以再行协商。”

2020年7月7日18:52设备生产商Diener杨天翼回复**精科公司项目经理司经理邮件，显示“司经理您好，我司及我司大中华区代理铭璞已经全力配合贵司执行剩余3项设备验收测试，并已于2020年7月3日完成初步可靠性测试，根据我方现场工程师及贵司相关同事反应，由于现场再次无法满足4.4及4.5项目测试条件，贵司客户ICRD拒绝进行测试,故此两项测试无法执行。鉴于贵司多次向我司提出超出合同协议范围外的技术要求、技术服务及技术信息，我司作出如下申明：按照我司及上海铭璞公司与贵司于2018年8月分别签署的NDA及等离子设备技术协议内容，我司已按照合约履行了应尽的义务，并向贵司提供了超出合同范围约定的设备升级改动等，贵司也曾以书面及口头协议形式向我司承诺支付上述合同约定外的升级改动和技术服务费用，但我司之间无法与贵司针对上述内容进行有效沟通商议，鉴于我司与贵司签署的上述协议中未包含任何第四方义务，也未包含您在此邮件中所述的金属颗粒污染技术指标要求，我司没有向贵司或第四方提供上述相关技术信息或技术服务的义务，我司认为贵司应尽快履行合同义务，尽快完成剩余检测项目。”

2020年7月10日至16日，上海铭璞公司的李志鹏与**精科公司凌雪梅邮件往来，**精科公司提出软件新增需求，并向上海铭璞公司提出多个问题要求上海铭璞公司进行回复以解决等离子设备无法建立通讯状态的问题。

2020年7月23日，北京**的法定代表人、总经理孙国华向Diener和上海铭璞的邮件，双方均认可邮件翻译内容为“我是**精科的总经理孙国华。我写此封邮件是因为我们通过您的代理商铭璞所订购的设备（等离子）对于我们十分重要。目前两台设备正在我们的客户处进行最终测试。若这两台设备通过测试，它们将被客户接受，但是由于颗粒及金属测试无法继续进行。我们需要您的帮助以消除问题，我们明白这是一项附加的工作，我们也乐意为此支付费用。我们已经多次尝试与您的代理商讨论并总是得到这样的答复：即无法推进，除非我们签署验收协议并支付相应的货款，但实际情况是在没有完成最终验收前，现在并不是签署证明的时间点。……我们很乐意希望与您讨论并支付附加的人工费用，以使您能够帮助我们解决问题。”**精科公司称当时因为双方已经陷入交涉僵局，多次协商无过，设备只能限制而无法使用，**精科公司的前期投入都有可能白费的情况下，为了解决问题，其方向德国生产商Diener表达解决问题的意愿。

2020年8月3日，Diener发给向北京**孙国华发送邮件，双方均认可附件翻译内容为“声明：Diener已经履行了两台等离子系统合同的全部义务，两台设备皆于2019年12月运抵**精科公司。由于**精科公司在未给出任何合理理由的情况下拒绝签署最终验收文件（FAT），我们不得不暂停对两台等离子系统提供支持及服务。一旦**精科公司签署FAT文件，并且我司得到上海铭璞公司的确认后我们将继续向两台等离子系统提供支持及服务。自从2018年10月两台等离子系统的NDA协议、技术协议及采购合同签署之后（注：NDA及技术协议为Diener、上海铭璞公司与**精科公司共同签署，采购合同由**精科公司与上海铭璞公司签署）。我司一直致力于与**精科公司共同并提供最优质的服务及支持。我们向**精科公司提供了大量在上述协议及合同中涉及的针对硬件和软件的技术升级，**精科公司许诺我们会承担技术升级的费用，并给我们6台等离子系统的订单。然而在两台等离子系统完成升级后，**精科公司拒绝承担任何设备改造升级费用并多次拒绝与我司进行针对技术及商务申明的谈判请求。在**精科公司与Diener及上海铭璞三方签署的技术协议条款中未包含任何关于颗粒度及金属污染的要求，这不能作为北京**拒绝签署FAT的理由。

2020年9月1日是上海铭璞公司关联企业，也是实际设备的售后保障人员李经理向**精科公司凌经理发送邮件，载明“我们与德国再次沟通后，结果还是一样的，需要贵司对设备完成验收后，提出改造方案与报价。烦请贵司尽快完成支付合同总额的15%的货款。”

2021年3月4日，**精科公司司伟向上海铭璞公司张鹏斌发送邮件“贵公司自2019年12月提供给我们两套PLASMA单元，在2020年7月经过简单调试后，由于2020年8月两套设备的软件均被你们加锁，导致设备直至现在无法使用。目前由于这两套设备加锁无法调试，直接影响我们整机的设备验收进度，请你与贵公司协调一下，尽快将设备解锁进行正常的调试工作。

另，**精科公司主张上海铭璞公司存在延期交付设备的情况，并提交2019年12月24日双方邮件往来，主张双方于2018年10月签订合同，约定在22周内交付，但是上海铭璞公司实际交付时间为2019年12月份。上海铭璞公司称2019年12月交货是因为商业检查问题，在邮件中也提到了该情况，延迟交货也是因为**精科公司对设备指标提出了一些修改。

**精科公司提交最终实际使用方上海集成电路研发中心有限公司（以下简称上海集成公司）即ICRD出具的情况说明，显示“2020年7月，上海集成公司对**精科公司的两套等离子（Plasma）激活装置进行测试验收，根据通行的生产技术规范要求，等离子激活装置上线测试验收前，需先通过金属元素沾污测试，上海集成公司具备对等离子激活装置进行金属元素沾污测试等相关测试条件，并进行了相关测试。经过测试发现，在两套等离子激活装置运行即等离子开（Plasmaon）的情况下，等离子体激活装置1号和等离子激活装置2号均存在严重的金属元素Al超标，在硅片正面朝下的传送测试中，经过等离子体激活装置1号和等离子体激活装置2号也发现金属元素Al、K、Ca、Cu等超标。基于测试结果，上海集成公司认为等离子体激活装置1号和等离子激活装置2号由于金属沾无严重，无法通过金属元素沾污测试，故不具备最终验收测试条件。上海铭璞公司提交上海集成公司的天眼查查询信息，主张上海集成公司是**精科公司的客户，销售占比22.18%，双方存在重大利益关联。

**精科公司另提交北京燕东微电子科技有限公司出具的《情况说明》，载明“北京燕东微电子科技有限公司对前道工艺设备金属离子的要求是Ca、Ni、Cu、Al、Mg、Cr、K、Na、Mn、Zn、Ge、Mo、W、Ti等＜5e10at/cm2，新上线设备运行前，均应进行金属元素沾污测试。金属离子超标会导致工艺参数超出相关Spec，导致产品出现良率问题，并且会导致金属离子超标污染其他设备。”

对于测试验收，双方均认可4.4-4.7项测试，4.6已经完成，4.4、4.5尚未完成，4.7的测试实际是在其之间的所有测试完成后上线运行6个月，因4.4、4.5未完成，因此无法完成上线运行6个月的4.7项测试。

庭审中，上海铭璞公司与**精科公司均认可双方于2018年10月24日签订的《采购合同》、《等离子激活设备技术协议》、《等离子激活设备验收与测试》、《等离子激活设备采购合同补充协议》均未约定金属粒子标准。但《等离子激活设备技术协议》约定设备用途是晶元表面激活处理，且明确设备在FAB工厂进行最终验收和运行。2020年6月11日签订的补充协议里双方也明确了以ICRD作为测试工厂。

对于最终使用方，**精科公司称其购买涉案设备先在ICRD处进行测试，与其他设备进行组装后，最终组装的设备供应给ICRD，其与ICRD即上海集成公司之间系于2017年6月签订的《技术开发（委托）合同》，该合同中亦没有约定金属粒子的标准。双方均认可上海铭璞公司知晓最终使用方为ICRD系在2020年上半年最终测试阶段。

上海铭璞公司称4.4-4.6项本来约定在**精科公司处进行测试，是因为**精科公司单方原因场地无法进行。所以上海铭璞公司才同意将4.4-4.6的验收转至ICRD进行，上海铭璞公司同意的是测试地点的转换，但是对于标准没有达成新的补充约定。ICRD对4.4与4.5项有的高水平的要求，这是在ICRD测试时才提出来的，ICRD之前没有参与上海铭璞公司与**精科公司之间的协商，双方之间约定的是笼统的FAB工厂，没有约定是哪一FAB工场，因此ICRD的标准在签订合同时根本没有告知上海铭璞公司，供应的设备若在其他FAB厂是可以上线而且是合格的。**精科公司主张双方确实在最初的几份协议中没有明确是哪家FAB工厂，每一家FAB工场对金属粒子都有要求，每家的标准不一定一样。没有与上海铭璞公司约定金属粒子条件，是因为这是最基础的要求。对于业界来说是常识性的要求，并称上海铭璞公司的设备在任何一家FAB工厂都无法达到验收标准。

**精科公司主张因涉案等离子设备只是生产线的一部分，整个生产线用于晶圆的生产，等离子设备金属含量超标，属于设备无法满足上线的基础条件，根本无法上线测试，否则会造成整个生产线的污染。4.6项完成测试是因为该测试不需要上线进行。4.4、4.5项的测试需要上线进行。上海铭璞公司则称因为ICRD有自己的金属粒子要求，因此其不愿上线进行验收。

双方均认可对于晶元表面激活处理以及金属粒子的标准没有国家行业技术标准及通用标准。本院依职权调查取证，要求上海铭璞公司于**精科公司各提供三家FAB工场的联系方式，向其发送调查函，以了解涉案设备当前的金属离子情况下是否可在其处上线进行“4.4表面摩擦度”与“4.5表面损失”的性能测试。最终收回两份回复。**精科公司提供的北方集成电路技术创新中心（北京）有公司回函称“针对调查函中提到的等离子激活设备进入我司生产性进行‘4.4表面摩擦度’与‘4.5表面损失’的性能测试，要求”等离子激活设备“本身其金属离子污染要求的业界标准是Fe、Cu、Ni等多项≤5E10atoms/cm2，对于调查函中提到的等离子激活设备其金属离子测试结果不满足上述要求，公司拒绝该设备上线进行相关性能测试。”上海铭璞公司提供的布鲁克（北京）科技公司回函称“由于我方工厂位于美国，在中国境内并无生产性，另外现在全球疫情较为严重，很遗憾我方暂时无法提供性能测试支持。”

另，Diener系仪器的生产和技术服务方，上海铭璞公司是销售方，尔迪公司是原告的技术提供方，张朋斌。李志朋是尔迪公司员工，负责并且帮助上海铭璞公司与**精科公司沟通技术设备问题。**精科公司称沟通过程中，其认为张鹏斌与李志朋就是代表的上海铭璞公司。

上述事实有双方提交的上述证据及其陈述意见在案佐证。

本院认为，上海铭璞公司与**精科公司签订《采购合同》、《等离子激活设备技术协议》、《等离子激活设备验收与测试》、《等离子激活设备采购合同补充协议》，双方之间成立买卖合同关系，上述合同均是双方真实意思的表示，双方均应全面履行。双方在最初的《采购合同》、《等离子激活设备技术协议》、《等离子激活设备验收与测试》中约定“4.6及之前所有之规定测试通过，视为设备初步验收通过，测试地点为为**精科公司”；后双方签订《等离子激活设备采购合同补充协议》达成变更的合意，变更至上海ICRD完成4.4-4.6验收项。根据补充协议的约定“6月30日之前完成4.4-4.6所需工艺测试，以及测试结果满足要求，可视为验收完成，如果因为现场条件受限，无法完成验收，则从6月30日开始视为验收合格。”2020年6月28日至6月29日期间上海铭璞公司工作人员以及仪器的生产和技术服务方Diener的工作人员向**精科公司发送的邮件中均表明涉案设备在运抵ICRD后至6月29日，一直在解决设备的故障问题，且上海铭璞公司张鹏斌称“设备的报警信息德国那边判断是信号传输问题”，故根据当前查明的事实，案涉设备运抵ICRD至2020年6月30日期间未完成验收并非现场条件受限原因导致，故截至2020年6月30日，不足以视为验收完成。

后设备故障解决后，上海铭璞公司与**精科公司开始安排4.4-4.6项验收，2020年7月6日**精科公司以涉案设备金属离子严重超标无法上线进行验收为由，一直未进行4.4-4.5项验收。本案争议的主要焦点在于涉案设备金属离子是否合格。庭审中，经询问，上海铭璞公司不对涉案2台设备的金属离子含量申请鉴定。且双方均认可对于晶元表面激活处理以及金属粒子的标准没有国家行业技术标准及通用标准。双方协议仅笼统约定涉案设备上线验收于FAB厂，**精科公司主张每一家FAB厂对金属粒子都有要求，每家的标准不一定一样。金属粒子条件是业界最基础的常识性的要求。上海铭璞公司供应的涉案等离子激活设备在任何一家FAB厂都无法达到验收标准。上海铭璞公司则主张是因为上线验收的FAB场ICRD有自己的对于金属粒子的高要求，因此其不愿上线进行验收，其供应的设备若在其他FAB厂是可以上线而且是合格的。本院认为，当事人对自己提出的诉讼请求所依据的事实或者反驳对方诉讼请求所依据的事实，应当提供证据加以证明，但法律另有规定的除外。在作出判决前，当事人未能提供证据或者证据不足以证明其事实主张的，由负有举证证明责任的当事人承担不利的后果。现**精科公司对于其主张的涉案设备基础性的金属离子不合格导致无法在FAB厂进行测试完成了初步举证，而上海铭璞公司主张其设备符合其他FAB厂的标准要求可以上线进行测试，但其提交的证据不足以证明其主张，属于原告举证不能，应当承担不利的后果。因此，根据当前查明的事实以及证据，上海铭璞公司未能证明其交付的设备属于合格的设备，故对其要求**精科公司支付剩余货款及利息的诉讼请求，本院不予支持。

据此，依照《最高人民法院关于适用时间效力的若干规定》第一条，《中华人民共和国合同法》第八条、第六十条，《最高人民法院关于适用的解释》第九十条之规定，判决如下：：

驳回上海铭璞科技有限公司的全部诉讼请求。

案件受理费9842元，由上海铭璞科技有限公司负担（已交纳）。

如不服本判决，可在判决书送达之日起十五日内，向本院递交上诉状，并按对方当事人的人数提出副本，上诉于北京市第二中级人民法院。

审 判 员　马超雄

二〇二一年十二月六日

法官助理　魏若男

书 记 员　王　姝